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设备简介
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
设备主要结构
设备结构细节
标注为X轴电机的，蓝色为全闭环光栅尺。精度为一个脉冲0.1μm。另外一侧有一Y轴，同样配置。
探针机设备结构细节
电气拓扑
电气系统配置
系统分析
最终效果
方案总结